HAD-5227電阻真空計原理以及校準

原理

Pirani皮拉尼真空計構造。金屬圓筒內部設有一白金細線(xiàn),兩端連接電極。通過(guò)電極給白金細線(xiàn)提供電流時(shí),白金細線(xiàn)會(huì )發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細線(xiàn)或熱輻射或通過(guò)固體熱傳導等方式,白金線(xiàn)的熱量會(huì )被奪走。單位時(shí)間內以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時(shí)以下公式成立

Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)

Q是單位時(shí)間細線(xiàn)放出的熱量,R是細線(xiàn)的電阻,I是細線(xiàn)的電流。

氣體的平均自由行程比細線(xiàn)的直徑大很多時(shí),Qg通過(guò)自由分子的熱傳導被表示為

Qg = αΛπda(T－T0)p (2)

T和T0分別為細線(xiàn)和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線(xiàn)長(cháng)度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

Qs = Sκ(T－T0)/L (3)

Qr = πdaσε(T4－T04) (4)

(3)是電極的熱傳導,其中S是細線(xiàn)的斷面積,κ是固體的傳導率,L是電極的長(cháng)度。

(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱(chēng)為常數和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導和熱輻射,則式1可以表示為

I2R = Ap + I02R (5)

A = αΛπda(T－T0) (6)

I0是壓力為0的時(shí)候細線(xiàn)的電流, 是彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來(lái)的熱量損失。A式是不依存壓力的定數如果已知細線(xiàn)的電阻R,電流I0及定數A,則可以通過(guò)(5)式求得壓力P。

電阻真空計的

校準

一般先校準零點(diǎn)，再進(jìn)行滿(mǎn)度校準。

(1)校準零點(diǎn)。校準零點(diǎn)需對被測真空系統抽真空，一旦電離規測得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零"按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動(dòng)校正零點(diǎn)，當顯示1.0^-1Pa時(shí)，表示規管零點(diǎn)已校準。對于無(wú)自動(dòng)零點(diǎn)校準的電阻真空計，可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調整。

(2)滿(mǎn)度校正。校準完零點(diǎn)后，需對其滿(mǎn)度校正。按滿(mǎn)度校正過(guò)程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規所測位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿(mǎn)度"按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動(dòng)校正滿(mǎn)度，當顯示1.0^5 Pa時(shí)，表示規管滿(mǎn)度已校準。對于無(wú)自動(dòng)滿(mǎn)度校準的電阻真空計，可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調整